| 产品中心 |
|
|
晶圆 |
MultiLifter多功能升降机 |
PreWaClean硅片预清洗 |
WaSep硅片分离 |
InWaClean链式硅片清洗 |
|
NIAK - 新的链式平台 |
InTex制绒清洗 |
InPolish抛光 |
InDop掺杂制结 |
InOxSide祛磷硅玻璃和刻边 |
InOxSide EB背刻 |
SoLayTec ALD |
|
BatchEtch袪表面损伤 |
BatchTex制绒 |
monoTEX |
BatchClean酸洗 |
BatchOx氧化刻蚀 |
|
全套高效金属化喷镀 |
InCellPlate链式电镀 |
|
清洗 |
蚀刻 |
涂层辅助剂/吸收剂 |
镀膜激活 |
电镀 |
|
VarioLoad多功能装载器 |
VarioUnload多功能卸载器 |
VarioLink多功能链路 |
QCheck智能检测系统 |
|
生产用花篮 |
传输用片盒 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
净化室 |
设备 |
湿法化学 |
自动化设备 |
|
|
清洁 |
显影 |
刻蚀 |
剥膜 |
氧化 |
祛沾污 |
PTH沉铜 |
电镀 |
精整加工 |
|
清洁 |
显影 |
刻蚀 |
剥膜 |
化学镀 |
电镀 |
精整加工 |
|