InSiOx 可通过单面刻蚀祛除电池片单面加热形成的SiO₂层，并保留另一面的氧化层，如高效电池片的钝化层。该系统卓越的可调整性，使它同样适用于钻孔硅片，如EWT电池片的制造。与InPolish和InOxSide设备相结合，RENA为您提供全套的背面钝化电池工具集。

优势及特性：

• 可实现背面钝化电池工艺方案
• 链式单面工艺： 
  －RENA始创工艺技术
  －达到前表面无掩膜要求
  －简易的全自动化集成，并可与RENA其他链式设备想结合