InOxSide确保高效的刻边和磷硅玻璃祛除以达到高太阳能电池片产能。除了附加的背面发射极刻蚀工序，EB系列还提升对蓝光的反应,并改善了电池的效率及工艺可靠性。

优势及特性

• 集祛磷硅玻璃、刻边和背发射极刻蚀于一体
  －较小的占地面积
  －最理想的工艺和工作流程整合
• 技术领先
  －先进的工艺集成，与RENA的InDop系统相结合,带来跟高的效率并进一步改善链式扩散的表现,以达到POCI₃水平
  －RENA的工艺启动