“ InDop”系统在扩散工艺之前，在硅片表面涂抹一层薄而均匀的磷酸层。该设备采用软辊涂抹磷酸，采用全自动化工艺,低配置成本并配有温和的硅片传输系统,带来高机械和工艺产出。

      优势及特性：

• 可与RENA的InTex制绒设备完美整合
• 该工艺可与制绒相匹配
• 双面制膜,以达到最优的双面磷扩散吸杂
• 形成易祛除的磷硅玻璃（PSG）层
• 可在线监控磷酸沉积面的链式质量控制