传统的氧化刻蚀工艺包括蚀刻、漂洗、干燥三个独立工序。最新的氧化刻蚀法仅需一道工艺槽可有效改善整个电池片工艺链的质量。

      优势及特性：

• 可供选择的多效合一HF/O₃干燥技术
• 无后道漂洗工序
• 最小化纯水用量
• 液态或气态的臭氧均可
• 加强了减反射膜（AR）的粘附力