最新研发的RENA PreWaClean给您带来最优的清洁效果,确保最小化硅片损耗,带来可观的产量。

      优势和特性：

• 该系统已为下一代切割设备做好了准备
• 载片盒:
  -第一步就对整块硅砖进行完全清洁
  -除胶工序后,硅片是固定的
• 每轮最长可载入1,080mm
  -还备有820mm的载入长度以供选择
• 最高产能可达每小时4轮清洗,且占地面积小
• 清洁过程中无需去除连接梁式板
• 可提供从切割到硅片整套清洁的解决方案