测量、检验、分选——RENA 的QCheck质量检测分选系统适用于各种硅片及电池片的分选。该组件可集成各种测量系统。并为您提供可选的后续的分选组件。

        优势及特性:

• 该组件可自主配置测量参数，如：厚度、 TTV总厚度偏差、bow翘曲度、电阻率、少子寿命、外观检查、拓扑及几何、多晶及微裂纹探测
• 可随意调整缓存区堆栈数值
• 集成了用户自定义测量系统及行业标准测量系统
• 净产能高达3600 片/小时