特细和高纵横比结构的无残余物剥膜。为了降低剥膜机的成本，加快剥膜速度，使之尽快脱离化学循环以减少额外的剥膜反应是至关重要的。我们集成的组件是目前技术水平下最优的解决方案。

优势及特性—— 胶剥离

• 采用带弧度的链式过滤，震动网式过滤
• 过滤器处于设备后部
• 含两个独立槽确保抗蚀剂的干燥

优势及特性——锡剥离

• 高长宽比孔的最佳处理法
• 采用34个喷头的高压冲洗
• 80 µm滤网的链式过滤，更换安全