RENA最新的干燥工艺大大缩短了干燥时间，提高了产能。

干燥
      最新的干燥技术，可满足一切清洁要求。

      优势及特性:

• 无载片盒操作
• 提供各类干燥工艺设备
     马兰戈尼干燥法
     HF/O3干燥法 
     热水干燥法
     单硅片离心干燥法
     载片盒离心干燥法
• 较短的干燥时间
• 无残余物干燥