专门设计的操作系统,最大化了生产率,给您带来最优的工艺效果。通过加快传输节奏，提高了产能。

硅片操作和传送
      专为硅片设计的自动化传输系统，操作更安全。

      优势及特性:

• 无载片盒操作
• 全、半自动化的设备
• 可灵活调整的模块设计
• 标准的精确传输，传输时间< 1秒
• 可定制硅片的紧凑度
• 可定制反应槽的大小
• 设备易维护
• 最小化与硅片的接触