基本参数实时监测——RENA为您提供整合的工艺检测和质量控制系统，更加经济实惠。

检测和分类
      炉前分析
      通过对溶液的长期监控,提高了湿法工艺中每一道工序的质量标准。

      优势及特性:

• 完善的工艺监测
• 过程开发和生产支持
• 优化的的工艺整合
• 在线/离线炉前分析
• 在线/离线滴定法
  
  
  
  

分析定性
      整合于RENA设备中的检测系统，可以通过对硅片的厚度、刻蚀率、表面不平整度、破损等定性分析，帮您在湿法生产工艺中，进行质量控制和流程监控。

      优势及特性:

• 链式监测
• 链式分析
• 表面定性分析，如：表面不平整度
• 先进的测量工具（可用于300mm硅片）
• 厚度测量
• 翘曲度检测